國(guó)際電子器件大會(huì)(IEDM)是非常重要的行業(yè)盛會(huì),原因之一在于,它能讓我們了解半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)如何在技術(shù)選擇方面趨向一致,這些技術(shù)可能是氧化鉿柵極氧化層或浸沒式光刻,也可能是本文所討論的磁性隨機(jī)存取存儲(chǔ)器(MRAM)。 去年12月在舊金山舉行的2019 IEDM大會(huì)上,各家大型晶圓廠以及英特爾都演示了可嵌入在CMOS邏輯器件中的MRAM技術(shù)。可以說,在可靠性和制造經(jīng)驗(yàn)方面,格芯相對(duì)于其他公司具備一定的優(yōu)勢(shì),但顯然其他公司也在積極布局MRAM技術(shù)。 MRAM的時(shí)代已經(jīng)到來,這在很大程度上是因?yàn)榍度胧絅OR閃存(eFlash)在28nm甚至更小的節(jié)點(diǎn)上進(jìn)行制造所需的掩膜過多(十幾個(gè)甚至更多)。嵌入式NOR閃存還需要高電壓能力來寫入數(shù)據(jù),而且寫入時(shí)間非常長(zhǎng)。雖然MRAM也面臨著一些挑戰(zhàn),但與eFlash相比,它的速度更快,功耗更低。 顯著節(jié)省能耗 位于加利福尼亞州洛思加圖斯的Objective Analysis公司的資深存儲(chǔ)器分析師Jim Handy表示:“如果您的應(yīng)用要向NOR閃存寫入大量數(shù)據(jù),那么您將會(huì)更青睞MRAM。閃存的能耗非常高,因?yàn)樗鼘懭霐?shù)據(jù)的時(shí)間太長(zhǎng),還需要高電壓。如果遷移到MRAM,將會(huì)顯著節(jié)省能耗。MRAM的寫入能耗降低了幾個(gè)數(shù)量級(jí),而讀取能耗大致保持不變。” Handy指出,開發(fā)微控制器的公司可以選擇:在SRAM上進(jìn)行加載作為工作存儲(chǔ)器,將代碼存儲(chǔ)在外部(分立式)NOR閃存上。或者,他們可以跳過這一步,直接遷移到嵌入式MRAM(eMRAM)。他表示,由于SRAM需要六個(gè)晶體管來存儲(chǔ)一個(gè)位,MRAM通常可將密度提高一倍甚至更多。 另外,在SRAM需要電池備份的系統(tǒng)中,由于嵌入式靜態(tài)RAM(SRAM)的成本包括了芯片和電池,與其相比,非易失性MRAM通常要經(jīng)濟(jì)高效得多。 在2019 IEDM大會(huì)上,有一整場(chǎng)專題討論圍繞eMRAM的話題展開。在展示格芯最新的eMRAM可靠性數(shù)據(jù)之后,常駐新加坡的格芯嵌入式MRAM技術(shù)主管Vinayak Bharat Naik表示,他非常歡迎四家公司同時(shí)推出eMRAM,這幾家公司依次為格芯、英特爾、三星和臺(tái)積電。 Naik表示:“對(duì)于客戶而言,如果他們希望從已經(jīng)使用了很長(zhǎng)時(shí)間的傳統(tǒng)技術(shù)遷移到一種新技術(shù),這個(gè)過程不能太突然。一旦最終客戶開始采用MRAM,他們將對(duì)使用MRAM取代傳統(tǒng)存儲(chǔ)器越來越有信心。” eMRAM的可靠性和可制造性  過去一年,有多家客戶請(qǐng)求格芯分享更多數(shù)據(jù),以此展示格芯公司的eMRAM技術(shù)能夠滿足生產(chǎn)的所有可靠性測(cè)試要求,還能耐受可能干擾存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的強(qiáng)外部磁場(chǎng)。  格芯在2019 IEDM大會(huì)上的演示重點(diǎn)解答這些問題,收到了積極的反響。  Naik的IEDM論文展示了eMRAM在格芯的22nm FD-SOI嵌入式平臺(tái)上的可制造性,使用先進(jìn)的磁隧道結(jié)(MTJ)堆疊/蝕刻/集成工藝,在工業(yè)級(jí)工作溫度范圍內(nèi)(-40至125攝氏度)實(shí)現(xiàn)功能完全、單體密度為40Mb的模塊。該論文還展示eMRAM能夠滿足回流焊要求,并且提供穩(wěn)定的產(chǎn)品可靠性,在封裝級(jí)別上的失效率低于1ppm。 抗磁性研究表明,在25攝氏度的溫度下,單體密度為40Mb的eMRAM模塊能夠在待機(jī)模式下耐受1,600奧斯特的極高磁場(chǎng),在暴露20分鐘的情況下,失效率低于1ppm。在125攝氏度的溫度下,當(dāng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為700奧斯特時(shí),失效率仍然低于1ppm。活動(dòng)模式抗磁性 — 存在500奧斯特磁場(chǎng)的情況下,芯片仍然能夠工作。它保持良好的耐久性,在長(zhǎng)達(dá)一百萬個(gè)周期內(nèi)的失效率低于1ppm,在一百萬個(gè)周期之后,電阻分布不會(huì)退化,在高溫下工作500小時(shí)期間,電阻分布也不會(huì)退化。所有結(jié)果都在關(guān)閉模式下進(jìn)行了糾錯(cuò)(ECC)。 Naik說:“磁場(chǎng)可能無處不在。比如,在家里,您手機(jī)的充電器可能產(chǎn)生一定強(qiáng)度的磁場(chǎng)。我們必須確保在待機(jī)和活動(dòng)模式下均具備良好的抗磁性,這樣芯片才能夠正常工作。” 2018年,在一些重要技術(shù)會(huì)議上(包括IEDM和有關(guān)VLSI技術(shù)的研討會(huì)),格芯展示了其eMRAM能夠耐受芯片封裝中使用的回流焊步驟,這使得他們能夠在封裝回流焊步驟之前對(duì)微控制器(MCU)進(jìn)行編程。260攝氏度下五次回流焊五分鐘的JEDEC標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)過了封裝級(jí)測(cè)試的驗(yàn)證。 提高可靠性 在2019 IEDM大會(huì)上,格芯展示了來自所有標(biāo)準(zhǔn)可靠性測(cè)試和抗磁性測(cè)試的eMRAM封裝級(jí)可靠性數(shù)據(jù),從而證明我們?cè)趀MRAM技術(shù)領(lǐng)域具備競(jìng)爭(zhēng)力。 Naik表示:“在這次IEDM大會(huì)上,我們展示了我們的技術(shù)可以隨時(shí)用于生產(chǎn),適合各種工業(yè)級(jí)應(yīng)用,包括可穿戴設(shè)備、物聯(lián)網(wǎng)(IoT)及其他諸多應(yīng)用。格芯在40nm和28nm MRAM產(chǎn)品方面具有豐富的生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),這種經(jīng)驗(yàn)一直延伸到eMRAM市場(chǎng)。” 格芯工程師在不斷優(yōu)化磁隧道結(jié)(MTJ)單元,包括沉積和蝕刻。Naik表示:“過去一年中,我們?cè)贛TJ堆疊和蝕刻以及集成工藝方面都有所改進(jìn),以提升持久性,實(shí)現(xiàn)更高的開關(guān)效率。我們將產(chǎn)品良率提升到90%以上的水平。” 節(jié)省能耗 Tom Coughlin是一位存儲(chǔ)器和存儲(chǔ)技術(shù)咨詢師,擔(dān)任年度閃存峰會(huì)的主席長(zhǎng)達(dá)10年,他表示eMRAM“為邊緣或端點(diǎn)的嵌入式產(chǎn)品帶來了諸多可能性,特別是那些對(duì)功耗敏感的產(chǎn)品。” Coughlin認(rèn)為,eMRAM等新興技術(shù)的市場(chǎng)必將迎來一次騰飛。他說:“持久性網(wǎng)絡(luò)的發(fā)展空間巨大,包括工廠4.0,它將智能設(shè)備與人工智能相結(jié)合,打造更高效的工廠。此外,農(nóng)業(yè)也可能是一個(gè)龐大的市場(chǎng),更多的農(nóng)場(chǎng)主在農(nóng)田中放置高效的無線智能傳感器。對(duì)于醫(yī)療保健應(yīng)用,則需要更高效地使用電能。很多市場(chǎng)都將推動(dòng)這種需求。另外,還有一些我們尚未想到的用途,包括很多消費(fèi)型應(yīng)用,快速高能效存儲(chǔ)器的新用途才剛剛起步,我們迄今還沒有認(rèn)識(shí)到它們的潛能。” Naik表示,格芯正在穩(wěn)步推進(jìn)eMRAM的應(yīng)用,首先專注于物聯(lián)網(wǎng)和工業(yè)用途,然后是汽車級(jí)eMRAM — 在此類應(yīng)用中,溫度挑戰(zhàn)更加嚴(yán)峻,自動(dòng)駕駛的數(shù)據(jù)需求離不開高密度的片上存儲(chǔ)器 — 然后才是使用MRAM作為四級(jí)緩存,取代處理器上的部分SRAM。 還有另一個(gè)非常龐大的市場(chǎng),即計(jì)算存儲(chǔ)一體化(PIM),我們?cè)?019 IEDM大會(huì)上經(jīng)常對(duì)這項(xiàng)技術(shù)展開討論。PIM在人工智能(AI)計(jì)算中使用某種形式的新興存儲(chǔ)器。MRAM或其他存儲(chǔ)器類型,例如阻性RAM或相變RAM,可以充當(dāng)邊緣設(shè)備中的本地處理元件。Naik表示:“考慮到MRAM具備諸多優(yōu)良性能,例如快速寫入、高耐久性、高密度和低功耗,MRAM相比于其他NVM擁有獨(dú)特優(yōu)勢(shì),在面向人工智能應(yīng)用的PIM計(jì)算方面潛力巨大。” 計(jì)算存儲(chǔ)一體化 Coughlin認(rèn)同PIM技術(shù)具備的潛力。他說:“計(jì)算存儲(chǔ)一體化可以在任何應(yīng)用中發(fā)揮更大作用,而將人工智能應(yīng)用放在其他位置運(yùn)行。我們可以在其他地方進(jìn)行數(shù)據(jù)訓(xùn)練,而將一些學(xué)習(xí)功能放在設(shè)備上。至少,計(jì)算存儲(chǔ)一體化可以在本地運(yùn)行模型,而不是在數(shù)據(jù)中心運(yùn)行。” MRAM還可在數(shù)據(jù)中心扮演更重要的角色。Coughlin表示:“如果系統(tǒng)沒有運(yùn)行任何負(fù)載,MRAM可以保持空閑狀態(tài),當(dāng)需要數(shù)據(jù)時(shí),它可以立即投入運(yùn)行。這讓我們能夠擺脫對(duì)易失性存儲(chǔ)器的依賴,而更好地利用非易失性存儲(chǔ)器。MRAM目前在很大程度上是受到了網(wǎng)絡(luò)邊緣的能耗敏感型應(yīng)用的驅(qū)動(dòng),但它也可在數(shù)據(jù)中心使用。” 總部位于圣地亞哥的Atlazo Inc.,的首席執(zhí)行官Karim Arabi談到了邊緣設(shè)備即將發(fā)生的變化。他表示,自動(dòng)駕駛只是需要海量數(shù)據(jù)的一種邊緣計(jì)算而已。 先進(jìn)的駕駛員輔助系統(tǒng)(ADAS)需要“靠近傳感器的低延遲計(jì)算”。 Arabi表示:“在數(shù)據(jù)聚合和訓(xùn)練方面,由于計(jì)算功耗和數(shù)據(jù)大小的原因,云計(jì)算更具優(yōu)勢(shì)。但其他應(yīng)用需要更高的功效,就功耗而言,邊緣計(jì)算的成本比通過無線鏈路傳輸至云端的成本要低100至1,000倍。由于隱私性原因,很多數(shù)據(jù)必須保存在本地。” 在典型的馮諾依曼架構(gòu)中,大約75%至95%的電能用于在存儲(chǔ)器和處理器之間移動(dòng)數(shù)據(jù)。Arabi說:“有了MRAM和PC-RAM等新型存儲(chǔ)器架構(gòu),我們可以使用MRAM來取代一些SRAM,還可將數(shù)據(jù)從片外DRAM移動(dòng)至片上MRAM。無論是MRAM還是PC-RAM,都能夠創(chuàng)建一種新的計(jì)算范式。在未來十年內(nèi),隨著神經(jīng)形態(tài)計(jì)算日臻成熟,MRAM和PC-RAM將變得更加關(guān)鍵。” 新計(jì)算架構(gòu) 格芯將自己定位為MRAM領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者,致力于幫助客戶開發(fā)功能豐富的差異化產(chǎn)品,以及推動(dòng)潛在的新計(jì)算架構(gòu)等新技術(shù)發(fā)展。 格芯計(jì)算和無線基礎(chǔ)設(shè)施部首席技術(shù)官兼副總裁Ted Letavic表示:“當(dāng)今社會(huì)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)互聯(lián),如果你不能處理功率包絡(luò)范圍的數(shù)據(jù),不能進(jìn)行數(shù)據(jù)分析,那么你就無法從中獲利,甚至無法實(shí)現(xiàn)人工智能。我們必須擁有分析能力,也就是邊緣或數(shù)據(jù)中心計(jì)算能力。” 展望未來,隱私性將促使我們將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移到邊緣設(shè)備,MRAM可在其中扮演重要角色。“我們的個(gè)人數(shù)據(jù)可能在任何位置發(fā)布,從網(wǎng)絡(luò)邊緣到數(shù)據(jù)中心。我們希望將這些數(shù)據(jù)移動(dòng)至邊緣,以確保您的數(shù)據(jù)安全,更好地保護(hù)隱私性。” 推動(dòng)邊緣計(jì)算的第二個(gè)因素是帶寬。雖然5G將更多數(shù)據(jù)傳輸?shù)綌?shù)據(jù)中心,但隨著移動(dòng)數(shù)據(jù)容量加速增長(zhǎng),這種方法變得不切實(shí)際。“即便5G甚至6G能夠帶來巨大的前景,但您要傳輸?shù)綌?shù)據(jù)中心進(jìn)行計(jì)算的每一位數(shù)據(jù)都會(huì)占用帶寬。我們要達(dá)到的目標(biāo)是,在邊緣擁有足夠的計(jì)算引擎。然后我們可以發(fā)送元數(shù)據(jù),僅傳輸結(jié)果,而不傳輸原始數(shù)據(jù)。” Letavic表示,多家重要研究中心正與格芯開展合作,研究邊緣計(jì)算的這些新方法。 “這遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了單純的芯片解決方案。我們需要真正改變計(jì)算架構(gòu)。在2019 IEDM大會(huì)上的一次采訪中,Letavic表示:“我們并非只討論新的晶體管,以及處理電子和光子的方式,我們討論的是新的架構(gòu)。” Letavic將新架構(gòu)稱為即將到來的“計(jì)算機(jī)設(shè)計(jì)的文藝復(fù)興”,MRAM能夠在其中扮演重要角色。 “在30年時(shí)間內(nèi),我們第一次考慮采用非馮諾依曼架構(gòu),它將帶來巨大的功耗優(yōu)勢(shì)。我們能夠?qū)崿F(xiàn)比專用架構(gòu)低100倍甚至1,000倍的功耗。” 由于計(jì)算存儲(chǔ)一體化方法具有很高的能效,因此MRAM能夠在這些非馮諾依曼架構(gòu)中扮演中心角色。Letavic表示:“作為器件技術(shù)人員,我們能夠在未來30年內(nèi)不斷改進(jìn)技術(shù),我們目前仍然沒有達(dá)到滿足我們期望的功耗點(diǎn)。我們必須改變架構(gòu)和軟件堆棧。新的架構(gòu)帶來新的器件類型、平臺(tái)上的新功能以及解決計(jì)算問題的新方法。”(作者:David Lammers,格芯公司)
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