1.力學感應器件的組成
力學傳感器是將各種力學量轉換為電信號的器件。力學量包括幾何學量﹑運動學量和力學量三個部份。其中幾何學量指的是位移(Displacement)﹑變形﹑尺寸等;運動學量是幾何學量的時間函數,如速度﹑加速度等;力學量包括質量﹑力﹑力矩﹑壓力﹑應力(Stress)﹑應變(Strain)等。因此,壓力傳感器﹑力傳感器﹑扭矩傳感器﹑速度傳感器﹑加速度傳感器都屬于力學傳感器。
力學傳感器與其它類型的傳感器相比具有測試范圍寬﹑輸出特性線性度好﹑精度高﹑性能穩(wěn)定﹑工作可靠﹑可在惡劣環(huán)境下工作等特點,在機械﹑化工﹑煤炭﹑交通﹑國防等部門得到廣泛的應用。應變(Strain)式力傳感器主要由彈性元件和電阻應變片組成。
(1)彈性元件
力學傳感器中,彈性元件的輸入量一般是力(力矩)或壓力,而它輸出的是應變(Strain)或位移。也就是說彈性元件把力或壓力轉換成了應變(Strain)或位移(Displacement),然后再由傳感器的后續(xù)電路(與傳感器連接,用來讀取傳感器所發(fā)放出來的信號及推動驅動器的電路)將應變或位移轉換成電信號。因此,彈性元件是力學傳感器中一個非常重要的部件。
一般來說,根據是否變換壓力,可以將彈性元件分為兩類。其中,可以變換壓力的彈性元件,通常有彈簧管﹑波紋管﹑波紋膜片﹑膜盒和薄壁圓筒等,它們可以將流體產生壓力變換成位移量輸出。
(2)電阻應變片
電阻應變片是一種能將被測試件上應變(Strain)的變化轉換成電阻變化的感應元件。它是應變式傳感器中的主要組成部份,也是應用最廣的力-電轉換元件。由于其輸出的信號很微弱,它常需要與電橋電路一起使用,使微弱的信號得以放大。 電阻式應變片主要有金屬電阻應變片和半導體應變片兩大類。應變片通常可以比較理想地粘貼在被測試件的各個部位,檢測出機械裝置各部份的受力狀態(tài),如應力(Stress)﹑振動﹑沖擊﹑離心力和不平衡力大小等。
金屬電阻應變片的工作原理主要基于電阻的應變效應,即導體的電阻隨著機械變形而發(fā)生變化的現象。它由保護片﹑感應柵﹑基底和引線四個部份組成。感應柵是由應變靈敏系數比較大的電阻絲制成。當金屬電阻絲受外力作用時,其長度和截面積都發(fā)生了變化,從而改變了電阻絲的電阻值。當電阻絲受外力伸長時,長度增加,截面積減小,電阻增大;當受壓縮短時,長度變短,截面積增加,電阻變小。因此,只要測出電阻的變化,便可通過換算得知金屬絲的應變情況。
半導體應變片主要采用硅半導體的壓-阻效應制作而成,如果在半導體晶體上施加作用力,晶體除產生應變外,其電阻率也會發(fā)生變化。和金屬電阻應變片相比,它的靈敏系數很高,可達100-200,但是在溫度穩(wěn)定性和可重復性方面不如金屬電阻應變片。
2.應變式力感應器件原理
應變式傳感器通常由彈性元件﹑電阻應變片和外殼等組成。應變式傳感器可用于力﹑壓力等力學量的測量。 應變式力傳感器通常把電阻應變片粘貼在傳感器的彈性元件表面,當彈性元件的受力產生應變時,電阻應變片便會感受到該變化而隨之產生應變,并引起應變片的電阻變化。只要知道傳感器彈性元件的彈性模型,就可以計算出應變力的大小。
在實際應用時,通常將四個電阻應變片成對地橫向或縱向粘貼在彈性元件表面,使應變片分別感受到壓縮和拉伸地變形,并將四個應變片連接成電橋電路,再利用橋式電路可將電阻變化轉變?yōu)殡妷鹤兓瑥亩鴣肀硎玖蛄氐淖兓?BR>