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      中科院半導(dǎo)體所科研成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化項目介紹(20-41項)
      2015/7/8 11:57:17    

      中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所(Institute of Semiconductors Chinese Academy of Sciences, ISCAS)通過成果轉(zhuǎn)化、引入投資、建立高技術(shù)合資企業(yè)等方式,形成了與高技術(shù)產(chǎn)業(yè)結(jié)合的鏈路。創(chuàng)建12個高技術(shù)合資公司,總注冊資本9.49億元,其中研究所獲得了近1.2億元的股權(quán)。參股公司有蘇州中科半導(dǎo)體集成技術(shù)研發(fā)中心有限公司,揚州中科半導(dǎo)體照明有限公司,江蘇中科四象激光科技有限公司,江蘇中科大港激光科技有限公司、河南仕佳光子科技有限公司,中科宏微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司等。

      研究所高度重視成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化工作,與北京、天津、江蘇、廣東、河南、河北等地方政府和企業(yè)共建了二十多個聯(lián)合研發(fā)平臺,積極為企業(yè)和區(qū)域經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展服務(wù)。近五年以技術(shù)入股、專利許可、技術(shù)授權(quán)等方式轉(zhuǎn)讓專利和專有技術(shù)32項,技術(shù)開發(fā)合同152項,技術(shù)合同及轉(zhuǎn)讓收入3.9億元。

      本匯編收集了半導(dǎo)體所應(yīng)用類研究成果,這些成果有的已進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化實施階段,有的處于中試或?qū)嶒炇译A段,對于不同階段的成果,可以采用不同的合作方式。

      科研成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化項目列表

      一、 光電子器件及技術(shù)

      1. GaN基高壓LED................... 1
      2. 垂直結(jié)構(gòu)GaN基LED........... 3
      3. 紫外LED............................... 4
      4. 高功率太赫茲半導(dǎo)體激光器......................................................... 5
      5. InP基2微米波段半導(dǎo)體激光器.................................................... 6
      6. 全固態(tài)納秒級紫外激光器... 7
      7. 單芯片高光束質(zhì)量光子晶體激光器.............................................. 8
      8. 130W皮秒光纖放大器........ 10
      9. 工業(yè)級高功率傳能光纜......11
      10. 高速光收發(fā)器件與模塊..... 12
      11. 片上、片間光互聯(lián)技術(shù)..... 13
      12. 高功率LED技術(shù)................. 14
      13. 超小點距LED顯示技術(shù)...... 15
      14. LED無基板封裝技術(shù).......... 16
      二、 物聯(lián)網(wǎng)及生物技術(shù)
      15. MEMS壓力傳感器............. 17
      16. 高速CMOS圖像傳感器...... 18
      17. 高性能數(shù)模混合、射頻微電子SOC集成電路設(shè)計.................... 19
      18. 光纖傳感器........................ 21
      19. 仿生人臉識別技術(shù)............ 22
      20. 具有溫度傳感功能的無源超高頻電子標(biāo)簽................................ 23
      21. 電生理信號傳感器芯片及專用集成電路.................................... 24
      22. DNA定量檢測設(shè)備(數(shù)字PCR設(shè)備) ....................................... 25
      23. 癌癥早期診斷/心肌梗死病前檢測用生化檢測儀....................... 27

      三、 半導(dǎo)體系統(tǒng)

      24. 高峰值功率激光清洗設(shè)備. 28
      25. 激光三維夜視成像系統(tǒng)..... 29
      26. 高清激光數(shù)字夜視系統(tǒng)..... 30
      27. 熱成像-主動距離選通激光成像系統(tǒng).......................................... 31
      28. 水下三維激光成像系統(tǒng)..... 32
      29. 基于TDLAS技術(shù)的氣體檢測系統(tǒng)............................................... 33
      30. 量子級聯(lián)激光器支撐的環(huán)境污染監(jiān)測分析系統(tǒng)........................ 34
      31. 油氣勘探用光纖檢波器系統(tǒng)....................................................... 35
      32. 光纖溫度壓力監(jiān)測系統(tǒng)..... 36
      33. 近紅外光譜定性分析系統(tǒng). 37
      34. 電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)....................................................... 38
      35. 光電子器件與集成仿真系統(tǒng)....................................................... 39
      36. 可見光通信技術(shù)................ 40
      37. 遠(yuǎn)程監(jiān)測控制系統(tǒng)............ 41

      四、 半導(dǎo)體材料

      38. 高性能氮化鎵基電子材料. 42
      39. 碳化硅材料外延關(guān)鍵技術(shù)研究................................................... 44
      40. 寬禁帶半導(dǎo)體ZnO和AlN單晶生長技術(shù)..................................... 45
      41. 批量生產(chǎn)的InP、GaSb、InAs開盒即用單晶片......................... 46
      附件1:集成技術(shù)中心對外加工項目表................................... 47
      附件2:照明檢測中心檢測項目(已獲CNAS認(rèn)證)....... 51
      附件3:半導(dǎo)體所有效專利 54

       

      20. 具有溫度傳感功能的無源超高頻電子標(biāo)簽


      項目名稱:具有溫度傳感功能的無源超高頻電子標(biāo)簽

      項目成熟階段:□孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      該標(biāo)簽是一種集成了無線身份識別和無線實時溫度感知功能,可利用電磁波能量進(jìn)行工作的電子產(chǎn)品。它無需電池供電,且標(biāo)簽中所有的電路包括電磁波能量收集、無線數(shù)據(jù)收發(fā)、通信協(xié)議處理、數(shù)據(jù)存儲和傳感電路均在一顆芯片中高度集成。用戶可基于該芯片開發(fā)各種環(huán)境中使用的標(biāo)簽,如腕帶標(biāo)簽、柔性標(biāo)簽、各種異形標(biāo)簽和金屬物品上使用的抗金屬標(biāo)簽等。由于單品級物品溫度監(jiān)測系統(tǒng)中使用的標(biāo)簽量非常大,我們研發(fā)的這種具有單芯片高度集成特點的無源標(biāo)簽可以大幅降低系統(tǒng)的成本。此外,標(biāo)簽的工作壽命不會受到電池容量的限制,也避免了電池使用帶來的潛在安全隱患和對環(huán)境資源的大量消耗,尤其適合應(yīng)用于海量物品的實時溫度監(jiān)測。

      技術(shù)特點:
      工作頻段860MHz-960MHz;支持標(biāo)準(zhǔn)ISO18000-6C/EPC C1G2;傳感距離〉5米;溫度測量范圍在-30℃至85℃之間;溫度測量誤差〈±1.5℃;溫度測量時間<20ms;搜集電磁波能量工作,無需使用電池;單芯片集成電磁波能量收集、無線數(shù)據(jù)收發(fā)、通信協(xié)議處理、數(shù)據(jù)存儲和溫度傳感的功能,無需任何片外輔助電路。
      目前,國內(nèi)外已有相關(guān)研究成果的報道,例如國內(nèi)清華大學(xué),香港科技大學(xué),國外Farsens公司和MicroSensys公司均公布了其研究成果。與現(xiàn)有公開成果相比,我們的溫度標(biāo)簽在測溫性能相當(dāng)?shù)那闆r下,傳感距離更遠(yuǎn),且標(biāo)簽具有穩(wěn)定的測溫能力,可使用任何符合ISO18000-6C或EPC C1G2 國際標(biāo)準(zhǔn)的讀寫器進(jìn)行操作,無需使用定制開發(fā)的讀寫器。

      專利情況:
      已申請發(fā)明專利12項,其中已授權(quán)專利8項。
      市場分析:
      無源超高頻溫度標(biāo)簽在環(huán)境監(jiān)測、設(shè)備監(jiān)測、智能農(nóng)業(yè)、冷鏈物流、農(nóng)資物流等領(lǐng)域具有十分廣闊的應(yīng)用前景。Lux Research 市場調(diào)研機(jī)構(gòu)發(fā)布報告稱,中國政府計劃將大量資源投入到發(fā)展國產(chǎn)超高頻芯片中,預(yù)計到2017年中國超高頻(UHF)市場規(guī)模將達(dá)到2.36億美元。國際物聯(lián)網(wǎng)貿(mào)易與應(yīng)用促進(jìn)協(xié)會(簡稱國際物促會,IIPA)發(fā)布了《2013-2017年中國RFID行業(yè)調(diào)研報告》,報告稱中國超高頻RFID產(chǎn)品在2013-2015年間預(yù)測復(fù)合增長率為52%,2016-2017年間預(yù)測復(fù)合增長率為42%。在這樣的背景環(huán)境下,具有溫度傳感功能的無源超高頻電子標(biāo)簽也必將擁有十分良好的市場發(fā)展前景。

      合作方式:委托開發(fā)、合作開發(fā)

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:預(yù)計產(chǎn)業(yè)化需持續(xù)時間2年,總計需1000平米的研發(fā)環(huán)境,用于建設(shè)實驗室和辦公場所,此外還需購買一系列用于超高頻溫度標(biāo)簽測試的專用設(shè)備,以及需要購買芯片開發(fā)所需的EDA軟件,支出芯片流片費和人員勞務(wù)費以及實驗室運行費。


      21. 電生理信號傳感器芯片及專用集成電路


      項目名稱:電生理信號傳感器芯片及專用集成電路

      項目成熟階段: □孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      針對各種生物醫(yī)用儀器對心電、腦電、肌電、神經(jīng)電等電生理信號采集與分析的需求,研制出了一系列專用集成電路芯片。其中包括:
      1、一款適合大多數(shù)生理信號的通用前端集成電路,完成從電生理傳感器輸出的原始信號到CMOS或TTL等標(biāo)準(zhǔn)數(shù)字電平信號之間的轉(zhuǎn)換,這款前端電路的功能包括跟隨、前放、A/D、濾波等基本功能。
      2、多款專用的信號處理后端集成電路,針對心電、腦電、肌電、神經(jīng)電等生理電信號不同的分析與應(yīng)用需求。
      3、一系列消耗性的特種生物醫(yī)學(xué)傳感器(如電極芯片),既可獨立滿足市場需求,同時也同專用集成電路形成配套,以組合營銷的形式擴(kuò)大市場占有率,拓展利潤空間。
      技術(shù)特點:
      名稱
      技術(shù)優(yōu)勢
      關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)
      技術(shù)與國外同類產(chǎn)品優(yōu)勢
      通用前端集成電路
      低噪聲、低功耗、高集成度
      噪聲:低于5uVrms
      芯片面積:小于4mm2
      集成度、成本等方面較TI、ADI等產(chǎn)品具有一定優(yōu)勢
      心電專用后端集成電路
      超低功耗、低成本、高抗干擾
      功耗:低于0.1mW
      芯片面積:小于1mm2
      可用于運動檢測,國內(nèi)外均無同類產(chǎn)品
      脈搏專用后端集成電路
      超低功耗、低成本、高抗干擾
      功耗:低于0.1mW
      芯片面積:小于1mm2
      可用于運動檢測,國內(nèi)外均無同類產(chǎn)品
      皮膚表面干電極
      低阻抗、無需導(dǎo)電膏
      阻抗:5K@1KHz
      與國外產(chǎn)品處于同等技術(shù)水平層面
      專利情況:
      授權(quán)專利5項、集成電路布圖設(shè)計6項
      市場分析及應(yīng)用情況:
      市場需求量:芯片300萬顆/年,傳感器3000萬-5000萬顆/年
      可應(yīng)用系統(tǒng):小型化便攜式電生理檢測設(shè)備、移動健康產(chǎn)品、穿戴式健康產(chǎn)品
      合作方式:
      技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)入股
      產(chǎn)業(yè)化所需條件:
      芯片研制主要花費在版圖設(shè)計,因此主要需要條件是人員工資,需要資金1000萬元。


      22. DNA定量檢測設(shè)備(數(shù)字PCR設(shè)備)


      項目名稱: DNA定量檢測設(shè)備(數(shù)字PCR設(shè)備)

      項目成熟階段: √孵化期 □生長期□成熟期

      概況:
      數(shù)字PCR技術(shù)是一種核酸(DNA)絕對定量檢測方法,在癌癥標(biāo)志物稀有突變檢測、致病微生物鑒定、轉(zhuǎn)基因成分鑒定等眾多領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用潛力。截至2014年底,相關(guān)設(shè)備只有國外少數(shù)幾家公司推出產(chǎn)品,例如Fluidigm公司、美國伯樂(Bio-Rad)公司等,尚未見到國產(chǎn)設(shè)備問世。鑒于對數(shù)字PCR技術(shù)的深入理解掌握和對未來應(yīng)用市場發(fā)展?jié)摿Φ呐袛啵袊茖W(xué)院半導(dǎo)體研究所聯(lián)合北京基因組研究所于2012年開始自主研發(fā)數(shù)字PCR設(shè)備,并于2014年7月完成了原理樣機(jī)的研制,順利通過科學(xué)院專家組的驗收,專家對于原理樣機(jī)測試的數(shù)字PCR結(jié)果給予了高度評價。從數(shù)字PCR系統(tǒng)的整體構(gòu)架至各個功能組件,如芯片、熱循環(huán)系統(tǒng)、光路、控制系統(tǒng)及軟件部分等,完全依靠自主研發(fā),并對國外已有商品化設(shè)備技術(shù)進(jìn)行了認(rèn)真的對比分析,進(jìn)行了相關(guān)知識產(chǎn)權(quán)的規(guī)避。

      技術(shù)特點:
      自主研發(fā)的數(shù)字化PCR儀的主要創(chuàng)新點:使用硅基微反應(yīng)池陣列芯片,其中微反應(yīng)池數(shù)目30600個(獨立芯片上該數(shù)目高于目前商業(yè)化數(shù)字PCR所有芯片),且每個微反應(yīng)池相互獨立,地址可循,單獨擴(kuò)增;可以實時跟蹤采集不同循環(huán)數(shù)時每個微反應(yīng)池的熒光信號;采用基于迭代算法的圖像判別分析軟件,實現(xiàn)微反應(yīng)池物理地址定位,陽性熒光信號提取;具有很好的拓展性,能夠通過在普通PCR熱循環(huán)設(shè)備上進(jìn)行陣列芯片的一次擴(kuò)增反應(yīng),大大提升了芯片的反應(yīng)通量;配套試劑盒自主研發(fā)。
      目前,國外廠商推出的數(shù)字PCR相關(guān)設(shè)備主要有:
      ①Fluidigm公司的Biomark 系統(tǒng)
      這種系統(tǒng)的核心技術(shù)是微流控陣列微閥及控制通路的制備,研發(fā)成本較高,同時每個獨立芯片的微反應(yīng)池數(shù)目太少,僅為765個,整個系統(tǒng)的通量增加完全依靠增加陣列芯片的個數(shù)實現(xiàn)。
      ②Life Technologies公司QuantStudio™ 3D數(shù)字PCR系統(tǒng)
      這種系統(tǒng)采用了高密度的納升流控芯片技術(shù),能夠在每次運行中最多產(chǎn)生20,000個數(shù)據(jù)點,每個微反應(yīng)池體積為0.8nL。該系統(tǒng)的光學(xué)系統(tǒng)與PCR熱循環(huán)系統(tǒng)分離,因此在加熱系統(tǒng)的設(shè)備選擇方面具有較好的拓展性,同時可以在熱循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行多個芯片進(jìn)行一次熱循環(huán)反應(yīng),大大增加了反應(yīng)通量。光學(xué)系統(tǒng)體積較小,便于實驗室中的任意挪動,不足之處是不能實時對熱循環(huán)過程進(jìn)行跟蹤信號采集,只能進(jìn)行終點檢測,對于一些假陽性點無法進(jìn)行有效識別和剔除。

      ③ RainDance Technologies公司RainDrop™ 數(shù)字PCR系統(tǒng)&④美國伯樂(Bio-Rad)公司微滴式數(shù)字PCR系統(tǒng)(ddPCR™)
      這兩種系統(tǒng)的工作原理非常相似,類似于乳液PCR原理,核心技術(shù)是能夠形成尺寸均一的油包水液滴,Bio-Rad公司大約形成20,000 個均一納升大小的微滴,而RainDance Technologies公司能夠在半小時內(nèi)均一地制備高達(dá)1000萬個皮升大小的液滴。形成的液滴裝載在tube管中進(jìn)行PCR熱循環(huán),然后再利用特定的技術(shù)將液滴完整抽取進(jìn)行每個液滴光信號獨立讀取,計算陽性和陰性微滴的數(shù)量,從而以數(shù)字格式對靶DNA 進(jìn)行絕對定量分析。這兩種系統(tǒng)的技術(shù)在回收液滴進(jìn)行熒光信號采集過程中存在液滴破損率較高的問題,同時由于均一尺寸的液滴的產(chǎn)生是基于廠家的專利技術(shù),因此只有廠家的試劑才能實現(xiàn)這一功能,在后續(xù)的使用過程中會產(chǎn)生數(shù)額較大的試劑盒費用。
      與四家公司的數(shù)字PCR設(shè)備相比,我們在數(shù)字PCR設(shè)備在研發(fā)過程中兼顧了各家所長,避其不足。最終原理樣機(jī)實現(xiàn)了數(shù)字PCR的實驗效果,并且單個芯片的通量為30600個,通過自主設(shè)計的光路系統(tǒng)可以實時跟蹤每個反應(yīng)池在不同循環(huán)數(shù)的熒光信號,便于在結(jié)果分析中分析和剔除假陽性信號,同時設(shè)備具有很好的拓展性,可以在普通PCR熱循環(huán)系統(tǒng)實現(xiàn)陣列芯片的獨立反應(yīng),大大增加了芯片的反應(yīng)通量。試劑盒僅為普通PCR擴(kuò)增試劑,價格與市場PCR試劑盒成本相當(dāng),大大節(jié)省了后期的實驗費用。

      市場需求及應(yīng)用情況:
      本項目研發(fā)的系統(tǒng)產(chǎn)品主要針對于基因組學(xué)基礎(chǔ)科研、檢驗檢疫科研實踐業(yè)務(wù)、傳染性疾病防控監(jiān)測研究、食品安全監(jiān)測研究、重大疾病基因檢測等領(lǐng)域,并根據(jù)以上領(lǐng)域的不同需求開發(fā)具有針對性的整體解決方案,包括樣品處理、靶點選擇、檢測流程、技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)等。本項目切實根據(jù)市場需求指導(dǎo)儀器系統(tǒng)開發(fā),并根據(jù)應(yīng)用開發(fā)的反饋對系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化和改進(jìn),其產(chǎn)出成果可以直接應(yīng)用于相應(yīng)的技術(shù)領(lǐng)域,具有直接進(jìn)入一線市場的技術(shù)基礎(chǔ)。
      針對性市場和市場容量預(yù)期計算,到2017年,國內(nèi)PCR設(shè)備市場容量至少達(dá)到1500臺套,每臺設(shè)備按照100萬元市場價格計算,市場總值將達(dá)到15億元。耗材及配套試劑的市場價格按照100元/單個樣本計算,保守估計單臺設(shè)備一年運行600次反應(yīng)(應(yīng)用飽和度不足50%),試劑及耗材年消耗量為90萬套,市場總值為9000萬/年。

      合作方式:技術(shù)轉(zhuǎn)讓

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:
      在原理樣機(jī)至商品化設(shè)備研發(fā)階段無需特殊設(shè)備及廠房,研發(fā)周期約需2年,大體投資量為2000萬元,主要資金需求分為設(shè)備及耗材研發(fā)費用及人力成本,設(shè)備及耗材研發(fā)費用預(yù)計需要1500萬元,具體包括硬件研發(fā)500萬元,試劑盒研發(fā)費用500萬元,芯片及其他配套耗材500萬元;人力成本估計需500萬元。


      23. 癌癥早期診斷/心肌梗死病前檢測用生化檢測儀


      項目名稱:癌癥早期診斷/心肌梗死病前檢測用生化檢測儀

      項目成熟階段: □孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      該成果是圍繞重大疾病早期診斷技術(shù)開展的研究工作。通過高質(zhì)量高成品率懸臂梁陣列研制、多標(biāo)志物修飾及聯(lián)合檢測等關(guān)鍵技術(shù),針對癌癥與心肌梗死等重大疾病臨床診斷的需求,開發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的懸臂梁陣列生化傳感器件,建立小型、便攜、個體化的癌癥早期診斷和心肌梗死病前監(jiān)測平臺,并通過與醫(yī)院合作,完成臨床診斷儀器的認(rèn)證工作。

      技術(shù)特點:
      基于懸臂梁陣列的早診儀器是通過懸臂梁頻率變化,檢測血清中癌癥標(biāo)志物的含量,實現(xiàn)重大疾病的早期篩查和診斷。這是一種以懸臂梁陣列為傳感單元,利用抗原和抗體的特異性反應(yīng)進(jìn)行檢測的無標(biāo)記免疫分析技術(shù)。
      其技術(shù)先進(jìn)性體現(xiàn)在:局域響應(yīng),具有高靈敏度、高檢測精度;懸臂梁陣列結(jié)構(gòu),實現(xiàn)多種標(biāo)志物同時檢測,高檢出率;自驅(qū)動和自檢測結(jié)構(gòu),體積小,便攜,適合于現(xiàn)場、實時實地檢測;、大規(guī)模制作可實現(xiàn)低成本。
      研發(fā)的生化檢測儀樣品性能指標(biāo)如下:尺寸小于15 cm × 20 cm × 10 cm;重量< 300g(不包括電池);檢測時間< 60 min;檢測下限是10 pg/mL。

      專利情況:已申請4項專利,授權(quán)2項。

      市場需求及應(yīng)用情況:
      全球每年新確診的癌癥患者約為1200萬人,預(yù)計到2020年每年新增病例將達(dá)到1500萬,如果能早發(fā)現(xiàn)、早治療,90%以上的癌癥是可以治愈的。我們開發(fā)的微納生化傳感器可以對患者或高危人群的血清中標(biāo)志物蛋白進(jìn)行高靈敏、高準(zhǔn)確性、快速體外定量檢測,實現(xiàn)現(xiàn)場、實時實地的重大疾病(癌癥和心肌梗死)早期篩查和診斷;不僅可應(yīng)用于大型醫(yī)療機(jī)構(gòu),而且可應(yīng)用于急救現(xiàn)場、社區(qū)和鄉(xiāng)鎮(zhèn)醫(yī)院等。此外,通過修飾特異性抗體分子,這一技術(shù)還可應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測、食品安全等領(lǐng)域。

      合作方式:以技術(shù)開發(fā)為主,擇機(jī)與相關(guān)企業(yè)進(jìn)行技術(shù)轉(zhuǎn)讓或技術(shù)入股。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:
      早診儀器產(chǎn)品的生產(chǎn)原料主要包括硅基半導(dǎo)體材料和生物化學(xué)試劑等,原材料全部來自國產(chǎn)供應(yīng)。根據(jù)需求的量,懸臂梁陣列將在中科院半導(dǎo)體所制作,或委托代工廠加工,表面抗體修飾和系統(tǒng)集成組裝等主要生產(chǎn)工序由合作企業(yè)完成。


      24. 高峰值功率激光清洗設(shè)備


      項目名稱:高峰值功率激光清洗設(shè)備

      項目成熟階段: □孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      激光清洗是近年來新興的清洗技術(shù),它利用激光的方向性和高亮度,通過光剝離、光分解等原理清除材料表面的污染物,其具有低損傷、零排放、無污染等優(yōu)點,在微電子元件、文物和藝術(shù)品、汽車輪胎模具和光學(xué)鏡面清洗等方面都取得了很好的效果。隨著激光技術(shù)的發(fā)展,激光器的性能不斷提升,已具備將激光清洗技術(shù)應(yīng)用在大面積工業(yè)清洗領(lǐng)域的條件。

      技術(shù)特點:
      激光器采用自主研發(fā)的技術(shù),技術(shù)指標(biāo)接近國際同類水平,不同的是國外已有正式的產(chǎn)品,但其價格昂貴,維修不便,進(jìn)口國內(nèi)周期較長。而國內(nèi)沒有這方面自主研發(fā)的產(chǎn)品,故國內(nèi)市場還處于空白期,產(chǎn)品具有較強(qiáng)的市場潛力。

      專利情況:
      已申請國內(nèi)發(fā)明專利5項,授權(quán)2項。

      市場需求及應(yīng)用情況:
      小功率的可應(yīng)用于微電子元件、文物和藝術(shù)品、汽車輪胎模具和光學(xué)鏡面清洗等方面,大功率的可應(yīng)用于飛機(jī)、輪船、鐵路、汽車模具的清洗等。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)均可。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:激光清洗樣機(jī)已完成,需求投資以開發(fā)正式的產(chǎn)品,投資規(guī)模預(yù)計1000萬。


      25. 激光三維夜視成像系統(tǒng)


      項目名稱:激光三維夜視成像系統(tǒng)

      項目成熟階段: □孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      激光三維夜視成像系統(tǒng)利用激光器作為照明光源,采用具有高速電子快門的探測器件作為成像器件,通過時間的先后分開不同距離上的散射光和目標(biāo)反射光,從而實現(xiàn)目標(biāo)的二維圖像信息的采集,并通過距離能量相關(guān)算法實現(xiàn)超分辨率三維成像。該技術(shù)二維成像功能:可直接對感興趣目標(biāo)切片成像,過濾背景,并抑制大氣后向散射并,有利于獲得高質(zhì)量的圖像,尤其是霧雨雪等惡劣天氣環(huán)境下,仍可有效工作;三維成像功能:可實現(xiàn)實時三維成像(幀頻大約15Hz,像素數(shù)大于500×500),獲取目標(biāo)的距離、特征尺寸信息等,從而滿足目標(biāo)空間信息獲取的市場需求;該項目成果主要用于夜間以及霧雨雪條件下小、暗目標(biāo)的探測識別,可以用于反恐維安、草原森林防火、海事救援、動植物統(tǒng)計監(jiān)測以及其他一些應(yīng)急平臺的緊急救援等。

      技術(shù)特點:
      可實現(xiàn)目標(biāo)切片成像;具有破霧雨雪的特性,作用距離遠(yuǎn),0-10km;可在低照度、惡劣天氣環(huán)境下工作,可選擇性過濾環(huán)境背景,突顯目標(biāo);直接成像,圖像信噪比高,相同的口徑下,與中波、長波紅外熱像儀相比分辨率更高,并可穿透玻璃成像;對安裝平臺的穩(wěn)定性要求不高;具有一定的穿透能力,可以探測隱藏于植被、偽裝網(wǎng)中的目標(biāo);具有三維信息獲取功能,獲取目標(biāo)的大小,距離等信息。
      加拿大Obzerv公司是國際上制造距離選通成像系統(tǒng)的領(lǐng)頭羊,目前其ARGC系列產(chǎn)品均不具備本所產(chǎn)品的實時三維成像功能。國內(nèi)未見同類產(chǎn)品報道,該產(chǎn)品具有國內(nèi)領(lǐng)先水平,遠(yuǎn)距離三維成像功能達(dá)到國際領(lǐng)先水平。

      專利情況:授權(quán)專利8項,主要涉及光源、成像方法、三維信息獲取等方面。

      市場分析:
      該項目研究成果主要用于公共安全領(lǐng)域:例如核電站、輸線管道、軍事等重要目標(biāo)、大型開放場所的遠(yuǎn)距離監(jiān)測;用于森林草原防火、海事救援等應(yīng)急平臺監(jiān)測;用于智能放牧、動植物狀況的統(tǒng)計分析等農(nóng)林領(lǐng)域;可以用于機(jī)載、船載、車載進(jìn)行輔助駕駛。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:廠房面積500平米,投資金額800萬左右。


      26. 高清激光數(shù)字夜視系統(tǒng)


      項目名稱:高清激光夜視系統(tǒng)

      項目成熟階段: □孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      數(shù)字高清激光夜視技術(shù)是一種可以實現(xiàn)全天候遠(yuǎn)程監(jiān)控的成像技術(shù),利用半導(dǎo)體激光器準(zhǔn)直性好、體積小、低功耗等特點,實現(xiàn)對目標(biāo)場景的主動照明,同時輔以光斑均勻化、發(fā)散角可變、強(qiáng)光抑制及破霧等技術(shù),利用CCD或CMOS等成像器件接收目標(biāo)信號,實現(xiàn)對目標(biāo)的的探測識別,其有效工作距離從數(shù)十米到數(shù)公里不等,具有圖像信噪比高、作用距離遠(yuǎn)、直接成像、分辨率高等特點,特別適用于在霧、雨、雪等惡劣天氣以及全黑的夜晚對目標(biāo)的探測成像。可廣泛應(yīng)用于邊海防、河道、港口、鐵路、公路以及其他重要目標(biāo)的全天候監(jiān)控,司法取證,海事搜救,以及車載、船載、機(jī)載等輔助安全駕駛的夜視成像。

      技術(shù)特點:
      半導(dǎo)體激光器的性能是激光成像的關(guān)鍵技術(shù)之一,主要有脈沖激光夜視技術(shù)和連續(xù)激光夜視技術(shù),本項目采用連續(xù)激光夜視技術(shù)。國外廠家采用脈沖激光夜視技術(shù)、價格昂貴。國內(nèi)廠家采用連續(xù)激光夜視技術(shù),沒有光源核心技術(shù),光源功耗高、成像清晰度較差、價格昂貴。中科院半導(dǎo)體所從1993年開始,一直從事半導(dǎo)體激光成像技術(shù)的研究,激光夜視系統(tǒng)性能優(yōu)異,在夜間遠(yuǎn)距離和復(fù)雜環(huán)境下可高清成像,已經(jīng)實現(xiàn)小批量生產(chǎn)。本項目產(chǎn)品--數(shù)字高清激光夜視系統(tǒng),低能環(huán)保,沒有光污染,作用距離從幾米到數(shù)公里。適合不同用戶的需求,達(dá)到理想的監(jiān)控效果。該項目實現(xiàn)的原理、實驗過程及結(jié)果可靠,工藝完善,技術(shù)成熟。在項目成熟度方面的風(fēng)險較小。

      夜視儀性能指標(biāo):
      器件類型:CCD、CMOS;工作模式:數(shù)字;分辨率:130W~200W像素(數(shù)字);作用距離:50m、100m、200m、500m、1000m、2000m、3000m、5000m;視場角:與鏡頭同步;工作環(huán)境:零照度、-40℃~40℃。

      專利情況:獲得授權(quán)專利3項。

      市場分析:高清激光夜視系統(tǒng)主要應(yīng)用于視頻監(jiān)控領(lǐng)域,在公安系統(tǒng)、鐵路系統(tǒng)、高速公路、機(jī)場、邊海防系統(tǒng)、林業(yè)系統(tǒng)、水利系統(tǒng)、石油系統(tǒng)及重點場所需要中遠(yuǎn)程視頻監(jiān)控的部門都有非常大的需求,市場需求量在上百萬臺。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:
      1、需要購買光功率計、示波器、可靠性試驗裝置等儀器設(shè)備;
      2、3000平米廠房;
      3、投資金額在1000左右。


      27. 熱成像-主動距離選通激光成像系統(tǒng)


      項目名稱:熱成像-激光成像監(jiān)測系統(tǒng)

      項目成熟階段: □孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      熱成像-主動距離激光成像系統(tǒng)是中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所光電系統(tǒng)實驗室研發(fā)的最新產(chǎn)品,主要用于滿足海岸線、邊境線的監(jiān)控以及關(guān)鍵基礎(chǔ)設(shè)施的保護(hù)。系統(tǒng)集成了熱成像、激光測距和主動選通激光成像,保證在嚴(yán)苛環(huán)境下實現(xiàn)全天候監(jiān)控,目標(biāo)識別,測距等功能。
      系統(tǒng)工作時,首先利用大視角熱像儀發(fā)現(xiàn)目標(biāo),然后用激光測距獲得目標(biāo)大致距離,最后設(shè)置激光選通成像時間參數(shù),利用激光器作為照明光源,采用具有高速電子快門的探測器件作為成像器件,通過時間的先后分開不同距離上的散射光和目標(biāo)反射光,最終實現(xiàn)目標(biāo)的成像識別及信息的采集,可獲取目標(biāo)的熱紅外圖像、微光圖像、激光強(qiáng)度圖像和偽彩色圖像。

      技術(shù)特點:
      本產(chǎn)品是世界首臺由熱成像、選通成像、選通三維成像、激光測距、偽彩色融合五種功能合一的復(fù)合成像系統(tǒng)。其特點有:1、被動熱成像與主動激光選通成像相結(jié)合,便于發(fā)現(xiàn)目標(biāo)和識別目標(biāo),并給出目標(biāo)的距離,坐標(biāo)等信息;2、可抑制大氣等的后向散射,具有破霧雨雪的特性,作用距離遠(yuǎn),0-5km;3、可在低照度、惡劣天氣環(huán)境下工作,可選擇性過濾環(huán)境背景,突顯目標(biāo);4、直接成像,圖像信噪比高,相同的口徑下,與中波、長波紅外熱像儀相比分辨率更高,并可穿透玻璃成像;5、積分時間可達(dá)幾十納秒,甚至幾納秒,對安裝平臺的穩(wěn)定性要求不高;6、具有一定的穿透能力,可以探測隱藏于植被、偽裝網(wǎng)中的目標(biāo)。

      熱成像-激光成像監(jiān)測系統(tǒng)性能指標(biāo):
      最大工作距離:4km;工作模式:全天候,具有破霧雨雪能力;測距精度<1m;工作視場:0-300,定焦或變焦可選。視頻輸出:模擬PAL或數(shù)字;工作溫度:-30℃-55℃。

      專利情況:
      獲得授權(quán)專利4項。

      市場分析:
      本產(chǎn)品是被動熱成像與主動激光選通成像相結(jié)合,便于發(fā)現(xiàn)目標(biāo)和識別目標(biāo),并給出目標(biāo)的距離,坐標(biāo)等信息,可用于森林防火、人員搜救以及軍事偵察等領(lǐng)域。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:
      系統(tǒng)主要模塊主要由外協(xié)加工,下游廠家采購實現(xiàn),企業(yè)建立研發(fā)團(tuán)隊,負(fù)責(zé)產(chǎn)品工業(yè)設(shè)計,電子系統(tǒng)設(shè)計;建立組裝調(diào)試工作線,產(chǎn)品檢驗工作線等。無需專用生產(chǎn)設(shè)備,但需采購電子測量儀器。對廠房無特殊要求,適宜溫度濕度即可。除原材料采購?fù)猓顿Y1000萬就可以進(jìn)行生產(chǎn)。


      28. 水下三維激光成像系統(tǒng)

      項目名稱:水下激光成像系統(tǒng)

      項目成熟階段:√孵化期 □生長期□成熟期

      概況:
      水下三維激光成像系統(tǒng)利用藍(lán)綠脈沖固體激光器作為照明光源,采用具有高速電子快門的圖像傳感器作為成像器件,通過時間的先后分開不同距離上的散射光和目標(biāo)反射光,從而實現(xiàn)水下目標(biāo)的成像及信息的采集,并可通過距離能量相關(guān)實現(xiàn)超分辨率三維成像。該技術(shù)可直接對感興趣區(qū)切片成像,同時抑制水的后向散射并過濾背景,有利于獲得高質(zhì)量的二維強(qiáng)度圖像;該技術(shù)的三維成像功能可提供目標(biāo)的距離及特征尺寸信息,滿足水下目標(biāo)三維信息獲取的應(yīng)用需求。該項目成果主要用于水下小、暗目標(biāo)的探測識別以及水下工程。

      技術(shù)特點:
      該系統(tǒng)可實現(xiàn)目標(biāo)切片成像,獲取水下mm級目標(biāo)的高質(zhì)量圖像;可抑制水的后向散射,并過濾背景噪聲,實現(xiàn)0-40m距離范圍內(nèi)的目標(biāo)探測;具有特定目標(biāo)識別功能,如漁網(wǎng)、沉船等目標(biāo);具有三維信息獲取功能,獲取目標(biāo)的大小、距離、方位等信息。
      該系統(tǒng)與加拿大國防研究及發(fā)展中心生產(chǎn)的水下距離選通成像LUCIE系列產(chǎn)品相比,具有實時三維成像功能;與法德圣路易斯研究院生產(chǎn)的水下距離選通三維成像SeaLVi產(chǎn)品相比,其三維成像功能具有更高分辨率(相關(guān)技術(shù)具有專利保護(hù)),且可實時成像。

      性能指標(biāo):
      最大工作距離:40m;典型工作距離25m;分辨率:mm量級;工作水深:200m;工作像素>1000*1000。

      專利情況:獲得授權(quán)專利4項。

      市場分析:
      該系統(tǒng)主要用于海事安全領(lǐng)域:例如海警偵察、艦船出海等;用于水下有人/無人機(jī)探測領(lǐng)域:如潛艇探測、水下機(jī)器人作業(yè)等。本產(chǎn)品為水下光學(xué)成像的高端產(chǎn)品,工作距離是傳統(tǒng)水下光學(xué)成像技術(shù)的3-5倍,且獨具實時三維成像功能,預(yù)計市場規(guī)模超過3億。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:廠房面積500m2,投資金額1500萬左右。


      29. 基于TDLAS技術(shù)的氣體檢測系統(tǒng)

      項目名稱:基于TDLAS技術(shù)的氣體檢測系統(tǒng)

      項目成熟階段:□孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      基于可調(diào)諧二極管激光器吸收光譜技術(shù)(TDLAS)的氣體傳感器,是結(jié)合光電子學(xué),光譜學(xué),以及微弱信號處理等高新技術(shù)的氣體傳感器系統(tǒng)。該設(shè)備與傳統(tǒng)的氣體傳感器裝置(電化學(xué)法,氣象色譜法,吸附法)相比具有更高的靈敏度,更精確的測量數(shù)據(jù),更快的響應(yīng)速度,以及在線實時測量等特點。通過內(nèi)建程序及顯示屏,可以實時顯示當(dāng)前的待測氣體濃度,以及各測量量隨時間變化的曲線。標(biāo)準(zhǔn)的RS232通信接口可以方便的向上位機(jī)傳輸實時測量數(shù)據(jù)。通過光纖和電纜的延伸,可以進(jìn)行遠(yuǎn)端在線測試。通過可更換的氣室選擇,完成不同環(huán)境下的測試任務(wù)。并且我們可以根據(jù)客戶的要求進(jìn)行定制氣體(H2O,NO,CH4,F(xiàn)H)的測試。
      為了克服接觸式測量由于危險氣體(如:甲烷)易燃易爆的特點,我們還發(fā)展了基于TDLAS的遙測技術(shù)。選擇波長為甲烷1654nm吸收線的InP基DFB激光器,經(jīng)準(zhǔn)直后,照射在待測氣體上,利用空間背景的漫反射,提取出甲烷的吸收強(qiáng)度,從而計算出甲烷的濃度積。該技術(shù)具有本征安全特點,使用光學(xué)方式檢測,具有可抗干擾和防爆特性。

      技術(shù)特點:
      基于可調(diào)諧二極管激光吸收光譜技術(shù),通過向待測氣體發(fā)射特定波長的激光,并對穿過氣體的激光信號進(jìn)行解調(diào),分析氣體的組分和濃度。利用光吸收技術(shù)進(jìn)行氣體濃度測試,不會對氣體組分造成影響,并且響應(yīng)速度很快(ms量級),測量精度高(ppm量級),信噪比高,可以進(jìn)行實時監(jiān)測及數(shù)據(jù)采集。通過延長的光纖和電纜,可以將傳感器深入到人身無法達(dá)到的地方及環(huán)境,進(jìn)行遠(yuǎn)程測試。利用開放式空間接收反射光信號的方法,可以對易燃易爆氣體實現(xiàn)實時路徑積分濃度的測量。
      目前能夠檢測1.2um~2um波段內(nèi)有吸收峰的氣體,主要包括H2O、NH3、NO、HF、HBr、HI、CH4,其中H2O和HF的檢測靈敏度可以高達(dá)100個ppb,是目前同類型傳感器中靈敏度最高的檢測手段。

      專利情況:申請專利4項,其中已授權(quán)3項。

      市場分析:
      根據(jù)MarketsandMarkets一份最新市場調(diào)研報告,2020年全球可調(diào)諧二極管激光分析(TDLAS)市場規(guī)模可達(dá)5.25億美元,復(fù)合年增長率達(dá)10.30%。該成果可應(yīng)用于天然氣泄漏檢測、礦井安全檢測、燃燒燃燒過程診斷、工業(yè)氣體在線分析以及大氣污染物監(jiān)測等方面。

      合作方式:技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)開發(fā)

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:產(chǎn)業(yè)化需要激光芯片封裝生產(chǎn)線,傳感測試系統(tǒng)的組裝調(diào)試生產(chǎn)產(chǎn)線,千級超凈工藝間。投資金額在1000萬左右。


      30. 量子級聯(lián)激光器支撐的環(huán)境污染監(jiān)測分析系統(tǒng)


      項目名稱:量子級聯(lián)激光器支撐的環(huán)境污染監(jiān)測分析系統(tǒng)

      項目成熟階段:□孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      大量氣體分子(如:CO、CO2、CH4、NH3、NO、N2O、SO2等)的基頻振動和振-轉(zhuǎn)動能量對應(yīng)于中紅外波段的光子能量,因此絕大多數(shù)物質(zhì)在中紅外波段均有指紋性的吸收峰,原理上講可用中紅外波段的激光器對特定的成份和含量進(jìn)行標(biāo)定、實現(xiàn)靈敏檢測。目前,量子級聯(lián)激光器是中紅外波段最具發(fā)展前景的小型、大功率、可集成的新型激光器,輸出功率達(dá)到瓦級。考慮到環(huán)境污染氣體主要由N2O、CO2、CH4和其它一些有機(jī)成分構(gòu)成,而這些污染成分在4到11微米范圍內(nèi)均有指紋性的特征吸收峰,可以用寬調(diào)諧范圍的量子級聯(lián)激光器對各種污染成分進(jìn)行定量鑒定。

      技術(shù)特點:

      中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所材料科學(xué)重點實驗室在量子級聯(lián)激光器研究領(lǐng)域一直處于國際前沿,先后研制出波長3.5至11微米的一系列室工作的量子級聯(lián)激光器,室溫溫準(zhǔn)連續(xù)功率20W、室溫連續(xù)輸出功率1W、連續(xù)工作溫度超過100°C;
      目前,研制的基于光聲效應(yīng)的甲烷(CH4)氣體探測靈敏度達(dá)到了50ppb,SO2的氣體探測靈敏度達(dá)到了140ppb,完全滿足環(huán)境污染成分監(jiān)測的需求。

      專利情況:獲得授權(quán)專利4項。

      市場分析及應(yīng)用情況:
      國際上已經(jīng)成功地將量子級聯(lián)激光器用于多種民用、軍用需求,已用于萬米高空的氣體監(jiān)測、高能炸藥的監(jiān)測、遠(yuǎn)距離化學(xué)傳感等方面,證明了量子級聯(lián)激光器幾乎“無多不能”氣體成分檢測能力。而我國在這方面還是空白,中科院半導(dǎo)體所擁有完備的前期技術(shù)、但是缺少與應(yīng)有單位的銜接和推廣應(yīng)用的渠道;如果將該技術(shù)用于北京等城市的灰霾成因及其演化、溫室氣體監(jiān)控、各種污染排放監(jiān)控,可以為政府決策、改善環(huán)境質(zhì)量提供全新的技術(shù)支持。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)方式。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:企業(yè)提供500平米的超凈工藝線廠房、300-500平米的技術(shù)開發(fā)廠房、材料生長設(shè)備、工藝設(shè)備。大體需投資2000萬。


      31. 油氣勘探用光纖檢波器系統(tǒng)


      項目名稱:油氣勘探用光纖檢波器系統(tǒng)

      項目成熟階段:□孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      光纖檢波器系統(tǒng)采用光纖激光傳感技術(shù),具有體積小、重量輕、精度高、系統(tǒng)自噪聲低、可單根光纖串聯(lián)多支傳感器復(fù)用、無電磁干擾、信號可長距離傳輸?shù)膬?yōu)點。可廣泛應(yīng)用于井下石油物探、壓裂監(jiān)測、地震監(jiān)測等領(lǐng)域。由于光纖地震檢波器采用全光纖傳感和傳輸,耐高溫、不怕水、井下無任何電子器件,特別適合井下的地震波監(jiān)測以及海洋石油勘探。

      技術(shù)特點:
      目前,油氣勘探用光纖檢波器系統(tǒng)國外尚無同類產(chǎn)品,該系統(tǒng)屬于自主研發(fā),處于國際領(lǐng)先地位。其特點有:
      1、全光纖傳感、傳輸;
      2、可用于高溫高壓惡劣環(huán)境;
      3、體積小、重量輕;
      4、靈敏度高;
      5、信號可長距離傳輸

      專利情況:
      中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所在光纖地震檢波器領(lǐng)域累計已經(jīng)申請專利30項、獲得授權(quán)發(fā)明專利15項、實用新型專利2項。

      市場分析及應(yīng)用情況:
      油氣勘探領(lǐng)域、地震監(jiān)測領(lǐng)域需求強(qiáng)烈,年市場容量在數(shù)十億人民幣以上。國際上著名的石油物探設(shè)備供應(yīng)商如Sercel、PGS、Weatherford等都已經(jīng)投入巨額經(jīng)費開展光纖檢波器的研發(fā)工作。半導(dǎo)體所是國內(nèi)目前唯一一家完成樣機(jī)研制并進(jìn)行井下試驗的研究單位,也是目前該技術(shù)專利的持有人。半導(dǎo)體所研制的光纖地震檢波器已經(jīng)成功用于遼河油田的井下地震勘探。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:企業(yè)提供廠房、基礎(chǔ)建設(shè)(2000 m2生產(chǎn)車間,500 m2辦公用地)、800萬啟動資金和設(shè)備資金,5人左右的技術(shù)團(tuán)隊和10人左右的生產(chǎn)團(tuán)隊。


      32. 光纖溫度壓力監(jiān)測系統(tǒng)


      項目名稱:光纖溫度壓力監(jiān)測系統(tǒng)

      項目成熟階段:□孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      光纖在線溫度傳感系統(tǒng)包括兩種技術(shù)和產(chǎn)品:大容量光纖光柵溫度在線監(jiān)測技術(shù)(點式)和長距離分布式溫度在線監(jiān)測技術(shù)(線式),半導(dǎo)體所是國內(nèi)目前唯一同時掌握這兩種關(guān)鍵技術(shù)并形成生產(chǎn)力的單位,光纖光柵傳感系統(tǒng)測點數(shù)可以達(dá)到幾千點同時測溫,光纖分布式傳感系統(tǒng)可以測量4 km以上的距離。壓力傳感器的精度可達(dá)1‰。光纖溫度壓力監(jiān)測系統(tǒng)主要用于石油石化行業(yè)的管道監(jiān)測、儲油罐監(jiān)測、井下壓力溫度監(jiān)測、以及土木工程中隧道、橋梁監(jiān)測等領(lǐng)域。

      技術(shù)特點:
      1、本質(zhì)無源
      2、可用于高溫高壓惡劣環(huán)境
      3、使用壽命長(>20 年)
      4、靈敏度高
      5、信號可長距離傳輸

      專利情況:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所在光纖溫度壓力監(jiān)測領(lǐng)域累計已經(jīng)申請專利12項、獲得授權(quán)發(fā)明專利6項、實用新型專利1項。

      市場分析及應(yīng)用情況:
      光纖溫度壓力監(jiān)測系統(tǒng)是目前最為成熟的光纖傳感器種類之一。國內(nèi)目前從事光纖傳感器研發(fā)和生產(chǎn)的企業(yè)不具備半導(dǎo)體所的核心技術(shù)。國內(nèi)光纖溫度壓力監(jiān)測的市場容量在一億元以上。半導(dǎo)體所的溫度壓力監(jiān)測系統(tǒng)產(chǎn)品已經(jīng)在多項重要工程中獲得應(yīng)用(青藏鐵路地溫監(jiān)測、深圳會展中心監(jiān)測、西氣東輸管道監(jiān)測等)。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:企業(yè)提供廠房、基礎(chǔ)建設(shè)(2000 m2生產(chǎn)車間,500 m2辦公用地)、600萬啟動資金和設(shè)備資金,5人左右的技術(shù)團(tuán)隊和10人左右的生產(chǎn)團(tuán)隊。


      33. 近紅外光譜定性分析系統(tǒng)


      項目名稱:近紅外光譜定性分析系統(tǒng)

      項目成熟階段(選擇):□孵化期□生長期 √成熟期

      概況:
      近紅外光譜定性分析技術(shù)是一項以近紅外光譜為信息載體,仿生模式識別為核心的一種定性分析新技術(shù)。本技術(shù)從數(shù)據(jù)處理的角度出發(fā),通過對光譜數(shù)據(jù)進(jìn)行預(yù)處理、特征提取、并最終建立精確幾何形體覆蓋的高維模式分析模型,實現(xiàn)對待測樣品(液體、粉末、顆粒狀固體)無損定性品種鑒別和品質(zhì)分析,可廣泛應(yīng)用于糧食安全、食品安全、藥品安全等領(lǐng)域。本項目實現(xiàn)了系統(tǒng)樣機(jī)的研制與開發(fā),并通過了企業(yè)試用測試,具有無損、簡單、快速、易操作、鑒別準(zhǔn)確率高等優(yōu)點。

      技術(shù)特點:
      該系統(tǒng)可以無損、快速、準(zhǔn)確的鑒別種子品種,分析種子的品質(zhì)。系統(tǒng)成本低,操作方便。種子品種識別率:95%-98%

      專利情況:申請專利9項,授權(quán)2項。

      市場分析:
      食品安全是一個民族生存的根本,近年來,國際上食品安全惡性事件不斷發(fā)生,造成了巨大的經(jīng)濟(jì)損失和社會影響,世界各國也越發(fā)重視食品安全問題,2010年,我國也及時成立了食品安全委員會。因此,如何加快食品安全檢測技術(shù)研究,從而達(dá)到快速檢測、安全、準(zhǔn)確、經(jīng)濟(jì)等目的成為今后的發(fā)展方法。
      近紅外光譜由于其快速、無損、信息量大、對人體沒有傷害等特點,已被廣泛應(yīng)用于農(nóng)業(yè)、食品、石油化工、醫(yī)學(xué)等各個領(lǐng)域。本項目將傳統(tǒng)近紅外光譜分析技術(shù)與自主創(chuàng)新的核心技術(shù)—高維形象幾何分析方法相結(jié)合,開發(fā)出近紅外光譜定性分析系統(tǒng),并成功建立了種子品種真實性鑒別模型、奶粉品質(zhì)鑒別模型、為種子品種鑒別、奶粉品質(zhì)分析應(yīng)用提供新的技術(shù)手段,該技術(shù)在糧食安全、食品安全檢測領(lǐng)域同樣具有廣闊的市場前景。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)服務(wù)

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:場地:約500平米資金;投入:約2000萬元人民幣;技術(shù)開發(fā)人員:約10~15人。


      34. 電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)


      項目名稱:電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)

      項目成熟階段: □孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      隨著電網(wǎng)和電力系統(tǒng)向超(特)高壓、大容量、大系統(tǒng)迅猛發(fā)展,對安全可靠性的要求也越來越高,非常迫切需要開展以輸變電設(shè)備狀態(tài)在線監(jiān)測與診斷技術(shù)為基礎(chǔ)的狀態(tài)檢修。成熟實用的在線監(jiān)測系統(tǒng)可大大提高電力系統(tǒng)的安全運行水平,具有重要的研究價值和巨大的應(yīng)用前景。
      中科院半導(dǎo)體所研究電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測技術(shù)已有多年的經(jīng)驗和成果積累。1990-1996年研制的第一代“DJZC—1型多功能電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測裝置”,在蘭州110千伏宣家溝變電站投入使用,1999年獲甘肅省科技進(jìn)步三等獎,西北電力集團(tuán)公司科技進(jìn)步二等獎。1999-2007年,經(jīng)過不斷改進(jìn)完善,先后在甘肅不同電壓等級的10多個變電站投入試運行,發(fā)現(xiàn)了多起設(shè)備缺陷及銘牌參數(shù)錯誤等缺陷,監(jiān)測的電力設(shè)備沒有發(fā)生一起絕緣事故。

      技術(shù)特點:
      我們研制的電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)與其他同類電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)相比,主要有以下兩個優(yōu)勢:(1)研究實現(xiàn)了實時絕緣在線測量時傳感器及系統(tǒng)誤差在線校驗技術(shù),能消除溫度、濕度、現(xiàn)場強(qiáng)電磁干擾、沖擊電流、運行時間漂移等對介損tanδ測量的影響,大大提高了電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)測量的穩(wěn)定性和實用性。(2)從信號的采集、傳輸、處理、診斷、功能擴(kuò)展等集成方面,研究出優(yōu)化的系統(tǒng)組成方式和系統(tǒng)功能,研制出的原型系統(tǒng)關(guān)鍵測量技術(shù)指標(biāo)達(dá)到:介質(zhì)損耗因數(shù)分辨率:≦±0.05%;等值電容測量誤差:≦ ±0.05%;泄漏電流測量誤差:≦±0.5%,泄漏電流靈敏度:≦5微安。

      專利情況:獲得授權(quán)專利5項。

      市場分析:應(yīng)用電力設(shè)備絕緣在線監(jiān)測系統(tǒng)可以有效保障電網(wǎng)、人員、設(shè)備的安全,節(jié)約生產(chǎn)成本,減少停電損失,其市場推廣前景廣闊,經(jīng)濟(jì)效益巨大(全國有上萬個變電站,通常電力設(shè)備在線監(jiān)測系統(tǒng)是設(shè)備造價的5%,大型變壓器造價在千萬元以上)。

      合作方式:技術(shù)轉(zhuǎn)讓;技術(shù)開發(fā)

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:合作企業(yè)提供廠房。預(yù)計成果產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)化所需資金約1500萬元,用于建立檢驗和改善穩(wěn)定性的平臺,系統(tǒng)工程化、產(chǎn)業(yè)化中的工藝優(yōu)化,投入電網(wǎng)運行等。


      35. 光電子器件與集成仿真系統(tǒng)


      項目名稱:光電子器件與集成仿真系統(tǒng)

      項目成熟階段: □孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      光電子器件與集成仿真系統(tǒng)是基于光子、光電子材料與器件電學(xué)、光學(xué)、熱學(xué),量子力學(xué),粒子守恒,能量及動量守恒等約束方程,通過多物理量耦合求解進(jìn)行材料、器件、回路到集成系統(tǒng)的模擬仿真與設(shè)計。系統(tǒng)包括時域有限差分電磁場仿真計算,光波束傳播分析,傳遞矩陣,嚴(yán)格耦合波分析,半導(dǎo)體電子能帶計算,光子能帶計算,N階法金屬物質(zhì)光傳輸計算,散射矩陣,EDFA及拉曼放大器,光波導(dǎo),光子晶體光纖,光子晶體光學(xué)設(shè)計,光纖通信系統(tǒng)仿真,光纖光柵及多維介質(zhì)金屬光柵設(shè)計模塊,表面等離子體器件設(shè)計,多維量子阱激光器設(shè)計,MOCVD系統(tǒng)熱力學(xué)仿真等20多個模塊。能進(jìn)行一維,二維到三維任意圖形編輯,材料庫包括光電子器件所能用到的各種半導(dǎo)體,金屬,絕緣體材料。可進(jìn)行100個核以上的大規(guī)模并行計算。

      技術(shù)特點:
      該系統(tǒng)由以下特點:1、能夠分析激光器、放大器等光電子器件及無源光子器件的光電特性,如閾值,放大,傳輸損耗,模式特性,瞬態(tài)特性等;2、能夠?qū)庾泳w、金屬、等離子體、超導(dǎo)、各向異性電介質(zhì)材料及磁性介質(zhì)進(jìn)行分析計算;3、能夠?qū)雽嶒炆汐@得的照片、繪制圖片對光電器件進(jìn)行仿真分析,并可以進(jìn)行修改調(diào)整及測試;4、支持復(fù)雜的多維編輯,多維顯示,如多層DBR;5、提供開放接口,可自行升級算法,并負(fù)責(zé)技術(shù)支持;6、支持腔體模式體積計算;7、支持近場外推遠(yuǎn)場計算;8、時域有限差分有源介質(zhì)模型;9、嚴(yán)格耦合波三維高速仿真模型;10、Pade超高Q值仿真模型;11、多方法互相印證配合技術(shù)。

      專利情況:已授權(quán)3項軟件著作權(quán)。

      市場需求及應(yīng)用情況:
      該成果可以用于從事光電子器件開發(fā)的高校、研究所及企業(yè)。目前該類軟件市場售價在每模塊10萬到20萬。該軟件最擅長領(lǐng)域在于特種光纖、微納光子、光電子器件設(shè)計、量子阱電子能帶設(shè)計、光子晶體能帶計算、光通信系統(tǒng)傳輸仿真、有源無源光子集成芯片并行計算。全球光電子產(chǎn)業(yè)始于上世紀(jì)70年代,90年代獲得了高速增長。進(jìn)入新世紀(jì)后,2004年光電子產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步走向復(fù)蘇,其市場規(guī)模達(dá)到1981億美元,2005年突破2000億美元,2015年達(dá)到1萬億美元。將成為最熱門的產(chǎn)業(yè),并成為衡量一個國家經(jīng)齊發(fā)展和綜合國力的重要標(biāo)志。隨著光電子技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)發(fā)展。光電器件及集成芯片仿真設(shè)計需求越來越重要。在這些方面,政府、企業(yè)及科研機(jī)構(gòu)正在加大對于有關(guān)商業(yè)模式的探索。集成電路設(shè)計市場規(guī)模將達(dá)到300億元,光電子集成設(shè)計將成為熱門產(chǎn)業(yè)。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)、技術(shù)入股

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:軟件深度開發(fā)、軟件維護(hù)、宣傳推廣、人員培訓(xùn)等,預(yù)計一年有銷售,三年內(nèi)有盈利,前三年需要資金每年300萬。


      36. 可見光通信技術(shù)


      項目名稱:可見光通信技術(shù)

      項目成熟階段:□孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      將半導(dǎo)體照明和通信系統(tǒng)有機(jī)結(jié)合將開辟一個全新的應(yīng)用領(lǐng)域。半導(dǎo)體照明通信將通信與照明結(jié)合在一起,以更低的能耗和更低的成本,提供照明及具有安全性、可靠性的寬帶數(shù)據(jù)接入,符合“節(jié)能減排”的要求。中科院半導(dǎo)體所利用基于藍(lán)光LED的可見光收發(fā)模塊實現(xiàn)單無線光上網(wǎng),可組網(wǎng)用于射頻敏感區(qū)和人口密集區(qū)的上網(wǎng)通信。基于該技術(shù)可以實現(xiàn)多媒體數(shù)據(jù)的光無線廣播、光學(xué)無線型智能家居系統(tǒng)、燈光定位等應(yīng)用。
      該項目屬國家科技支撐計劃上海世博會專項、中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程項目研究成果。項目團(tuán)隊曾獲科技部的“世博科技先進(jìn)集體”表彰。2012年基于可見光通信的“光怪路由”入選央視財經(jīng)頻道的“創(chuàng)新科技環(huán)球新銳榜”。

      技術(shù)特點:
      可見光通信的技術(shù)優(yōu)勢是:單點高速、系統(tǒng)大容量、使用安全放心。傳統(tǒng)的射頻無線通信技術(shù)不能用于射頻敏感區(qū),且因為射頻信號的相互干擾,也難以給人口密集區(qū)提供高速上網(wǎng)服務(wù)。可見光通信因為無電磁輻射以及良好的空間復(fù)用特性,能替代電的無線通信,為射頻敏感區(qū)用戶或者人口密集區(qū)用戶提供高速大容量的無線通信服務(wù)。
      與國外相比,半導(dǎo)體照明通信研究起步較早,并且部分技術(shù)已產(chǎn)業(yè)化,并制定了半導(dǎo)體照明通信技術(shù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。目前,在通信距離為3m時,系統(tǒng)的通信速率為80Mbps,;通信距離為3.5m時,系統(tǒng)通信速率為10Mbps。

      專利情況:已申請發(fā)明專利7項。

      市場分析:
      半導(dǎo)體照明通信技術(shù)兼具照明和通信功能,綠色節(jié)能環(huán)保,無射頻干擾和電磁污染,有利于人體健康,目前適合用于飛機(jī)、醫(yī)院等射頻敏感區(qū)域,以及軍事等信息安全領(lǐng)域;其次該技術(shù)可以給家電生產(chǎn)商或者LED燈具生產(chǎn)商帶來附加價值。未來有望全面拓展至市內(nèi)、交通、辦公等多個領(lǐng)域,避免充斥射頻信號對人健康的影響,提供綠色節(jié)能環(huán)保的高帶寬接入,具有巨大的市場前景。

      合作方式:技術(shù)轉(zhuǎn)讓或技術(shù)入股

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:投資額度在300萬元左右,主要進(jìn)行上網(wǎng)及控制接口標(biāo)準(zhǔn)制定,和家電制造商、燈具制造商、智能家居廠商合作研發(fā)新產(chǎn)品,分享新產(chǎn)品的市場利潤。


      37. 遠(yuǎn)程監(jiān)測控制系統(tǒng)


      項目名稱:遠(yuǎn)程監(jiān)測控制系統(tǒng)

      項目成熟階段: □孵化期 □生長期 ■成熟期

      概況:
      遠(yuǎn)程監(jiān)測控制系統(tǒng)由現(xiàn)場監(jiān)測控制網(wǎng)絡(luò)、遠(yuǎn)程監(jiān)控中心和移動監(jiān)控終端三大部分構(gòu)成。
      現(xiàn)場監(jiān)測控制網(wǎng)絡(luò)由傳感器和網(wǎng)關(guān)構(gòu)成,采集現(xiàn)場的數(shù)據(jù)傳輸給遠(yuǎn)程監(jiān)控中心,或者接收遠(yuǎn)程監(jiān)控中心的命令。現(xiàn)場也可以是單個的智能單品,如智能Wi-Fi插座、智能空氣凈化器、智能制氧機(jī)等,這些智能單品直接和遠(yuǎn)程監(jiān)控中心通信。
      遠(yuǎn)程監(jiān)控中心完成對現(xiàn)場監(jiān)測控制網(wǎng)絡(luò)的數(shù)據(jù)分析、顯示和處理。移動監(jiān)控終端可以通過遠(yuǎn)程監(jiān)控中心完成對現(xiàn)場的監(jiān)測和控制。
      該套系統(tǒng)可以應(yīng)用于智慧城市、智慧家庭、智慧農(nóng)業(yè)、油田和礦山等領(lǐng)域的監(jiān)測和控制。

      技術(shù)特點:
      1、現(xiàn)場監(jiān)測控制網(wǎng)絡(luò)有多種組網(wǎng)方式;
      2、通過智能手機(jī)隨時隨地對現(xiàn)場進(jìn)行監(jiān)測和控制;
      3、軟件自動升級;
      4、入網(wǎng)配置為智能式一鍵配置;
      5、現(xiàn)場和遠(yuǎn)程2級監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)。

      市場需求及應(yīng)用情況:
      該套系統(tǒng)可以應(yīng)用于智慧城市、智慧家庭、智慧農(nóng)業(yè)、油田和礦山等領(lǐng)域的控制系統(tǒng)。普通的家用電器,如電熱水器、空調(diào)接上智能Wi-Fi插座,用戶可以對電器進(jìn)行遠(yuǎn)程操控;Wi-Fi制氧機(jī)、Wi-Fi血壓儀等智能醫(yī)療保健智能單品可以將人體健康參數(shù)傳輸給遠(yuǎn)程服務(wù)器,供親人或醫(yī)生查詢參考;智慧農(nóng)業(yè)解決方案可以提供蔬菜大棚監(jiān)測系統(tǒng)、智慧城市解決方案可以提供空氣監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)、智能路燈控制系統(tǒng)。

      合作方式:接受技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:(需要什么設(shè)備、什么樣的廠房、大體的投資量有多大等)需要電子產(chǎn)品組裝車間;需要電子產(chǎn)品測試設(shè)備。


      38. 高性能氮化鎵基電子材料


      項目名稱:高性能氮化鎵基電子材料

      項目成熟階段: □孵化期 □生長期√成熟期

      概況:
      氮化鎵(GaN)基電子材料是發(fā)展新一代GaN基微波功率器件和電力電子器件的基礎(chǔ),處于信息產(chǎn)業(yè)鏈的高端,是各國競相占領(lǐng)的新一代戰(zhàn)略高技術(shù)制高點,也是推動和發(fā)展我國新一代信息產(chǎn)業(yè)的重要機(jī)遇。中科院半導(dǎo)體所是國內(nèi)最早開展GaN基電子材料研發(fā)的單位,并一直在該領(lǐng)域起著引領(lǐng)、示范和帶動作用。經(jīng)過盡二十年的自主創(chuàng)新,攻克了2英寸和3英寸藍(lán)寶石、碳化硅和硅襯底上GaN基電子材料外延生長的關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)問題,在高阻GaN外延材料、高遷移率GaN外延材料、高遷移率AlGaN/GaN異質(zhì)結(jié)結(jié)構(gòu)材料等方面形成了系統(tǒng)的自主知識產(chǎn)權(quán),設(shè)計并研制出了多種具有特色的AlGaN/GaN 異質(zhì)結(jié)構(gòu)電子材料,并實現(xiàn)了批量供片。所研制的材料非常適于研制生產(chǎn)高頻、大功率GaN基功率器件、單片集成電路和電力電子器件,可廣泛應(yīng)用于手機(jī)基站、航空航天、衛(wèi)星通信、雷達(dá)、智能電網(wǎng)、電動汽車、高速列車等領(lǐng)域,具有重大應(yīng)用前景和市場潛力。

      技術(shù)特點:
      該技術(shù)是采用金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)方法,在藍(lán)寶石、碳化硅或者硅襯底上外延高性能GaN基電子材料,采用本技術(shù)研制的GaN基電子材料,生長速度快、材料質(zhì)量好,重復(fù)性和均勻性高。采用該技術(shù)所研制的外延材料性能為國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進(jìn)水平,部分指標(biāo)參數(shù)為國際領(lǐng)先水平:
      外延材料方塊電阻:270-400Ω/□之間可調(diào);
      方塊電阻片內(nèi)不均勻性:優(yōu)于3%;
      室溫二維電子氣遷移率:大于1800cm2/Vs;
      外延材料尺寸:2英寸或3英寸,并可擴(kuò)展到4英寸或更大尺寸。

      專利情況:本技術(shù)所涉及到的材料結(jié)構(gòu)和制作方法已申請并獲得授權(quán)的國家發(fā)明專利17項,所取得的成果分別通過中科院和工信部組織的專家鑒定,獲工信部科技進(jìn)步一等獎1項,北京市科學(xué)技術(shù)二等獎1項。

      市場分析及應(yīng)用情況:
      基于GaN基電子材料的微波功率器件和電力電子器件可以廣泛應(yīng)用于移動通信基站等新一代信息產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。據(jù)美國Cree公司估計,如果在新一代無線通訊基站中以GaN基功率器件替代目前常用的Si LDMOS管使之成為無線基站射頻功放的主流功率放大器件,可減少高達(dá)20% 的功耗,每年將節(jié)省60TWh的電能。基于以上原因,GaN基外延材料近年來備受關(guān)注,市場需求量逐年遞增。據(jù)Yole Developpement公司預(yù)測,到2015年,GaN基電子材料在功率電子領(lǐng)域的需求量可突破60萬片/年,市場需求量巨大。目前銷售的3英寸外延片市場價約10萬元/片,通過產(chǎn)業(yè)化實現(xiàn)3000片/年的產(chǎn)能可實現(xiàn)3億元的年產(chǎn)值。
      中科院半導(dǎo)體研究所是目前我國唯一一個專門研制GaN基電子材料并給器件電路研制提供外延材料支撐的單位,所取得的成果已經(jīng)可以根據(jù)用戶需求研制和生產(chǎn)不同要求的GaN基電子材料,并實現(xiàn)了批量供片。用所研制的材料合作研制成功了我國首支國產(chǎn)GaN基HEMT器件、首支國產(chǎn)X波段GaN基HEMT器件、首支SiC襯底上X波段GaN基單片集成電路(MMIC)等,強(qiáng)有力地支撐了GaN基功率器件和電路在我國的發(fā)展。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)服務(wù)。

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:高性能GaN基電子材料的產(chǎn)業(yè)化需要的硬件條件主要包括GaN基材料外延生長關(guān)鍵MOCVD設(shè)備、材料性能檢測分析設(shè)備、超凈廠房裝修等,建設(shè)規(guī)模可根據(jù)需要分階段實施,預(yù)計需要產(chǎn)業(yè)化資金8000萬元。


      39. 碳化硅材料外延關(guān)鍵技術(shù)研究


      項目名稱:碳化硅材料外延關(guān)鍵技術(shù)研究

      項目成熟階段: √孵化期 □生長期□成熟期

      概況:
      當(dāng)今世界,能源問題受到國際社會的普遍關(guān)注,節(jié)能減排已成為世界的共識。碳化硅器件作為新興第三代半導(dǎo)體器件的杰出代表,與傳統(tǒng)的硅器件相比較,功率損耗和裝置體積可減小50%以上,工作電壓、工作頻率可以達(dá)到硅器件的10倍,電流密度達(dá)到硅器件的4倍,可靠性更高,節(jié)能優(yōu)勢明顯。
      碳化硅外延技術(shù)對于碳化硅器件性能的充分發(fā)揮具有決定性的作用,幾乎所有SiC功率器件的制備均是基于高質(zhì)量SiC外延片,SiC外延材料的厚度、背景載流子濃度等參數(shù)直接決定著SiC器件的各項電學(xué)性能。高電壓應(yīng)用的碳化硅器件對于外延材料的厚度、背景載流子濃度等參數(shù)提出新的要求。因此,碳化硅材料外延技術(shù)的研究是非常有意義的。

      技術(shù)特點:
      本項目研究的碳化硅外延技術(shù)有其特殊性,不同于一般的半導(dǎo)體外延技術(shù),SiC外延生長技術(shù)在生長溫度、生長速率、缺陷和均勻性控制的具體指標(biāo)要求以及實現(xiàn)途徑上都突出了電力系統(tǒng)應(yīng)用的特點。目前,國際上已經(jīng)形成了從碳化硅襯底材料、外延材料到器件制備的一整套產(chǎn)業(yè)體系。高質(zhì)量SiC外延材料是SiC功率器件的基礎(chǔ)材料,目前的國內(nèi)外電力電子器件需要的碳化硅外延材料的發(fā)展趨勢都是向大直徑、低缺陷、高度均勻性等方向發(fā)展。

      專利情況:中科院半導(dǎo)體所2項。

      市場分析及應(yīng)用情況:
      首先,該項目的進(jìn)行將為發(fā)展電網(wǎng)用碳化硅電力電子器件提供最重要的技術(shù)支持。目前,幾乎所有的碳化硅器件都是在碳化硅外延層上制備的。高質(zhì)量的碳化硅外延材料是研究制備電網(wǎng)用碳化硅電力電子器件的基礎(chǔ)。由于電網(wǎng)設(shè)備要求半導(dǎo)體器件具有高耐壓、大電流、低損耗、高頻、高溫和低過沖電壓等特殊性能,因此電力電子器件碳化硅外延材料的制備也面臨新的更高的要求。采用自主開發(fā)的碳化硅外延技術(shù),將為充分發(fā)揮碳化硅材料的優(yōu)勢,制備滿足電網(wǎng)系統(tǒng)需求的碳化硅器件創(chuàng)造必要的條件。
      其次,完全自主知識產(chǎn)權(quán)、自主研發(fā)的碳化硅外延技術(shù)有助于打破目前的壟斷,降低降低成本,為大規(guī)模應(yīng)用創(chuàng)造條件。目前,美國的CREE公司約占市場上的碳化硅材料外延以及碳化硅器件銷售額的90%左右,主要面向1700V以下的中低電壓市場,對于高壓器件支持力度不大,并且依據(jù)其在技術(shù)上的先發(fā)優(yōu)勢形成壟斷,價格遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于成本。自主開展外延技術(shù)研究,將為針對性的開展中國電網(wǎng)需求的碳化硅器件提供最重要的技術(shù)支持,同時,打破CREE公司的壟斷,成本預(yù)計可以降低到現(xiàn)在的20%-30%,滿足大規(guī)模的電網(wǎng)應(yīng)用的成本條件。
      該項目的研究將為以碳化硅材料為基礎(chǔ)的新一代電力電子技術(shù)的長足發(fā)展提供基礎(chǔ)保障。從長遠(yuǎn)來看,有助于支撐未來可控、高效、堅強(qiáng)電網(wǎng)的發(fā)展,推動電網(wǎng)技術(shù)的進(jìn)步。

      合作方式:技術(shù)開發(fā)。


      40. 寬禁帶半導(dǎo)體ZnO和AlN單晶生長技術(shù)


      項目名稱:寬禁帶半導(dǎo)體ZnO和AlN單晶生長技術(shù)

      項目成熟階段: □孵化期 √生長期□成熟期

      概況:
      作為第三代半導(dǎo)體的核心基礎(chǔ)材料之一的ZnO 晶體既是一種寬禁帶半導(dǎo)體,又是一種具有優(yōu)異光電性能和壓電性能的多功能晶體。中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所的科研人員研究掌握了一種生長高質(zhì)量、大尺寸ZnO單晶材料的新型技術(shù)方法-化學(xué)氣相傳輸法(CVT 法)。
      III 族氮化物GaN、AlN 及其三元組合化合物是制造波長為190nm-350nm的發(fā)光器件和新型大功率電子器件的基礎(chǔ)材料。AlN具有高熱導(dǎo)率(3.4W/cmK) ,與高Al組份的AlGaN材料和GaN材料晶格匹配等優(yōu)點,是一種研制新型大功率微波器件和短波長發(fā)光器件的極為理想的襯底材料。大尺寸AlN 單晶材料的研制成功將加快深紫外發(fā)光器件、新型大功率射頻器件的發(fā)展和在半導(dǎo)體照明、醫(yī)療衛(wèi)生、生物檢測、微波通信等領(lǐng)域的應(yīng)用。

      技術(shù)特點:單晶片主要應(yīng)用于:研究開發(fā)紫外、深紫外探測器和發(fā)光二極管;聲表面波器件;氣敏器件、壓電器件和大功率微波器件。

      合作方式:技術(shù)轉(zhuǎn)讓或技術(shù)入股

      產(chǎn)業(yè)化所需條件:
      ZnO單晶:多溫區(qū)氣相生長爐。
      AlN單晶:中頻感應(yīng)加熱或鎢絲網(wǎng)加熱高溫生長爐。
      AlN單晶
      ZnO單晶


      41. 批量生產(chǎn)的InP、GaSb、InAs開盒即用單晶片

      InP、GaSb單晶片主要作為襯底材料外延生長各種微波器件用微結(jié)構(gòu)外延材料(如HEMT、HBT)、大功率激光器等的多量子阱材料,中長波紅外探測器材料等, 其主要應(yīng)用領(lǐng)域包括移動通信、衛(wèi)星通信、導(dǎo)航、光纖通信、高效太陽能電池、夜視、大氣監(jiān)測、國防技術(shù)等。

      主要技術(shù):2-4英寸化合物半導(dǎo)體磷化銦(InP)、銻化鎵(GaSb)和砷化銦(InAs)單晶生長和晶片加工技術(shù)。


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